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国家自然科学基金委员会工程与材料科学部现发布2024年度国家自然科学基金专项项目——“先进IC制造装备共性基础”申请指南，请申请人及依托单位登录科学基金网络信息系统（https://grants.nsfc.gov.cn）查看，按项目指南所述要求和注意事项申请。
国家自然科学基金委员会
工程与材料科学部
2024年11月22日
